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sMIM-掃描近場微波阻抗顯微鏡模塊適配于各類主流品牌的AFM。其不僅能進行納米尺度空間分辨的電導率及介電常數的測量,還能進行載流子濃度以及半導體P/N型的測量。相比于導電原子力顯微鏡,sIMM很好的彌補了其無法測量絕緣體的遺憾。相比于掃描電容顯微鏡,sIMM擁有更高測量頻率從而實現更高電學分辨率。因此,sIMM適合于各類材料包括導體、半導體、絕緣體/電介質、掩埋式結構、晶體管等樣品。


ScanWave讓您的AFM為專業的電學顯微鏡!


       50nm超高分辨率,~100nm內部電學探測,導體、半導體、絕緣體的廣泛適用度,為您提供電導率、介電常數、摻雜濃度納米級


高靈敏度電學
表征成像的解決方案。

         
        
       

適配各種AFM平臺的獨立掃描模塊

                                                  




模塊包括微波信號發生器、探針干涉模塊、

自主專利同軸屏蔽探針、以及微波近場軟件,可

應用于各種AFM平臺。


特殊MEMS結構探針,有效避免散雜磁場的干擾。








 

     

      專業多功能自由切換電學顯微鏡測試功能體驗

 

      sMIM-C成像:介電常數、電容變化;

          sMIM-R成像:電導率、電阻率變化;

          dC/dV 振幅:載流子濃度;

         
          dC/dV 相位:載流子類型+/- ;

         
          dR/dV 振幅:相關損失系數;

      
      dR/dV 相位:相關損失系數;




       

        高精度電學測試,50nm分辨率

       

        工業級高靈敏度、低噪音,“Hard stuff”材料電學測試不再是難題
 

      可實現表面下成像、檢測(>100nm)

                    


         

        不同材料同步測量

       

     導體、半導體、絕緣體、電介質都可以實現,不同的材料甚至分類都可以  在一次掃描中觀測
            

        簡易操作
   

     不需要樣品特別處理,不需要將樣品放置在導電或電流中,人性化軟件設計,操作簡單

            接觸和非接觸多種掃描模式   

      
            即使在做力曲線,只要想實現,就可以同時獲得電學數據。

  

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