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  自從1993年起SURFACE公司就從事脈沖激光沉積鍍膜系統(以下簡稱PLD)的研發和制造工作,在這期間SURFACE公司不但向市場提供了標準的PLD系統,而且也提供專門為客戶訂制的PLD系統。經過了這么多年的發展,SURFACE公司開發出許多能夠滿足客戶需求的產品和技術。以下就是由SURFACE公司獨家提供的這些產品和技術的簡要介紹:


一. 基本資料
1.、SURFACE基底運載系統
對機械手來說,熱均勻和熱隔離的有效性是十分重要的。這其中,精確的熱電偶是關鍵的質量因素。
SURFACE常規電阻1英寸基底運載器
嵌入式Omicron原子力基底夾
熱電偶直接嵌入基底運載系統,30mm的基底中間區域
基底和銀醬一起安裝在激光切邊運載器上。運載系統可轉換并直接嵌入熱電偶,這保證絕大多數的溫度測量。

2、靶切換系統
超高真空技術需要反應釜通過一個負載鎖的腔體進行相互作用。從一開始,SURFACE就意識到這一點,并設計了一個靶轉盤來實現這一需求。
多層蓋板避免了強熱的基底轉移到靶材。所有靶材是受保護,以防止交叉污染。蓋板能夠非常容易地被更換,無需工具。靶材將通過磁場操縱或位于中央轉移腔的內部轉移操縱手被轉移。該耦合和靶材的精確檢索是自動完成的。靶轉盤和切換動力保證了均質燒蝕過程。
3、模塊化的系統概念
SURFACE公司多年來一直從事于研發超高真空材料科學系統。在大多數情 況下,一個系統的工作負載起始于一個單一的過程控制,往往過了一段時間以后,客戶的需求會增多。為了通過附加的過程控制提升整套設備的功 能,SURFACE公司認識到需要用完整的模塊化概念來解決這個問題。
從向市場提供單一的腔體加上負載鎖,一直到提供更多的擴展,而不需要冒任何將來轉換而產生的風險。
可以方便客戶的細節:
1、 轉換過程有照相機支持
從開始我們的束工具生產,我們就決心讓使用設備變得更加簡便。最早我們使用 了一個獨立的監視器,連接一臺獨立的BW照相機。為了實現自動化,增加了第二個TTL監視器來觀測實時的彩色照片和相關的其他過程數據。尤其是當我們的激 光加熱系統應用以后,另外一臺顯示器對顯示實際得圖表和數據非常有用。毫無疑問,所有的照片都能夠被實時地存儲在過程控制系統的硬盤驅動器上。
2、 整套系統的緊湊安裝
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