型號:

 

NIL系列納米壓印機最大支持6/8英寸,采用氣動傳動方式加壓,具備熱壓以及紫外壓印功能。全面支持PDMS、Hybrid PDMS、SFP軟壓印以及Nickel Template金屬鎳模板熱壓技術。



本產品技術參數:

      主機包含:真空系統,溫度控制系統,壓力控制系統,水冷系統,PLC 控制系統,軟件操作界面,紫外光源,雙面電磁加熱系統

      設備最大壓印尺寸:6 英寸。

      設備可以實現熱壓印、紫外曝光壓印

      最大壓力:8bar(空壓機)

      溫度范圍:從室溫到 250 攝氏度。

      紫外光源類型:高壓汞燈:功率:400W,主波長:365nm。

      設備真空度:10 帕。

      設備隨機可以根據科研需求提供全系列的納米壓印膠,

             支持自動脫模,雙面電磁加熱功能

              國內具備原廠售后能力,現場提供納米壓印設備工藝指導,ICP 刻蝕設備工藝指導并幫助用戶利用 SEM 或 AFM 對于納米壓印結果進行表征。

提供工藝包括:

納米壓印膠旋涂工藝支持

納米壓印模板防粘工藝支持,

軟模板工藝,包括 PDMS 模板、SFP 以及 Hybrid Mold 工藝

ICP 刻蝕工藝

柔性聚合物襯底壓印工藝,Nickel Template 金屬鎳模板熱壓 PET、PMMA 等舉離(Lift-off)工藝支持,加工金屬結構

納米壓印表征技術



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